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반도체

탄화규소 세라믹 소재는 실리콘과 일치하는 열팽창 계수, 내마모성, 내화학 부식성, 경량, 높은 탄성률 및 우수한 비강성과 광학 가공 성능을 갖추고 있어 특히 반도체 장비에 사용되는 정밀 세라믹 구조 부품에 적합합니다. 예를 들어 탄화규소 다공성 진공 흡입 컵, 탄화규소 돌출부 흡입 컵, 탄화규소 연마 디스크 및 지지 디스크, 탄화규소 로봇 암, 결정 보트, 탄화규소 가이드 레일 및 지지대 등이 있습니다.

 

  

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